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GB/T 12963-2022 영어 PDF (GBT12963-2022)
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GB/T 12963-2022: 전자 등급 다결정 실리콘
영국/태그 12963-2022
영국
국가 표준
중화인민공화국
ICS 29.045
CCS H 82
GB/T 12963-2014 교체
전자 등급 다결정 실리콘
발행일: 2022년 12월 30일
구현일: 2023년 7월 1일
발행처: 국가시장규제총국
중화인민공화국 표준화 관리국.
목차
서문 ... 3
1 범위 ... 5
2 규범적 참조 ... 5
3 용어 및 정의 ... 6
4 명칭 및 카테고리 ... 6
5 기술 요구 사항 ... 6
6 테스트 방법 ... 8
7 검사 규칙 ... 9
8 표시, 포장, 운송, 보관 및 첨부 문서 ... 10
9 주문서 내용 ... 11
전자 등급 다결정 실리콘
1 범위
본 문서는 명칭 및 범주, 기술적 요구 사항, 시험 방법을 규정합니다.
검사 규칙, 표시, 포장, 운송, 보관, 첨부 문서 및
주문서의 전자급 다결정 실리콘 함량입니다.
본 문서는 전자 등급 다결정 실리콘(이하 "다결정 실리콘"이라 함)에 적용됩니다.
"다결정 실리콘")은 염화실란과 실란으로부터 생성됩니다.
2 규범적 참조
다음 문서의 규정은 본 문서의 필수 규정이 됩니다.
이 문서의 참조를 통해. 날짜가 있는 문서의 경우 날짜가 있는 버전만
표시된 내용은 이 문서에 적용됩니다. 날짜가 없는 문서의 경우 최신 버전만 해당됩니다.
(모든 개정 내용을 포함하여) 이 문서에 적용됩니다.
GB/T 1550 외부 반도체 재료의 전도도 유형에 대한 테스트 방법
GB/T 1551 단결정 실리콘의 저항률 측정을 위한 시험 방법 - 인라인 4-
포인트 프로브 및 직류 2포인트 프로브 방법
GB/T 1553 벌크 실리콘 및 게르마늄의 소수 캐리어 수명에 대한 테스트 방법 -
광전도도 붕괴법
GB/T 1557 적외선을 이용한 실리콘의 간극산소 함량 측정 시험방법
흡수
GB/T 1558 적외선 흡수에 의한 실리콘의 치환탄소 함량 시험 방법
GB/T 4059 다결정 실리콘 - 시험 방법 - 인의 영역 용융
통제된 분위기 하에서
GB/T 4060 다결정 실리콘 - 시험 방법 - 붕소에 대한 진공대 용융
GB/T 4061 다결정 실리콘 - 시험 방법 - 샌드위치의 평가
화학부식에 의한 횡단면
GB/T 14264 반도체 재료의 용어
GB/T 14844 반도체 재료의 명칭
GB/T 24574 III- 단결정 실리콘의 광발광 분석을 위한 시험 방법
Ⅴ 불순물
GB/T 24581 단결정 실리콘의 Ⅲ 및 Ⅴ 불순물 함량에 대한 시험 방법 - 낮음
온도 FT-IR 분석 방법
GB/T 24582 다결정 금속의 표면 금속 오염 측정을 위한 시험 방법
산 추출에 의한 실리콘-유도 결합 플라스마 질량 분석법
GB/T 29057 플로트 존 결정에 의한 다결정 실리콘 막대의 평가를 위한 연습
성장과 분광학
GB/T 35306 단결정 실리콘의 탄소 및 산소 함량에 대한 시험 방법―낮음
온도 푸리에 변환 적외선 분광법
GB/T 37049 전자급 폴리실리콘의 금속불순물 함량에 대한 시험방법
- 유도결합플라스마 질량분석법
3 용어 및 정의
본 문서의 목적상 GB/T 14264에 명시된 용어와 정의가 적용됩니다.
4. 명칭 및 카테고리
4.1 다결정 실리콘의 명칭 표시는 다음 규정을 준수하여야 합니다.
GB/T 14844(영국)
4.2 다결정실리콘은 벌크형 다결정실리콘과 막대형 다결정실리콘으로 구분된다.
다결정 실리콘은 형태에 따라 구분되며, 전도도에 따라 n형과 p형으로 구분된다.
유형이며, 기술적 지표의 차이에 따라 4가지 등급으로 구분됩니다.
5 기술적 요구 사항
5.1 기술 지표
다결정 실리콘의 등급 및 관련 기술 지표는 다음을 준수해야 합니다.
표 1의 규정.
6가지 테스트 방법
6.1 다결정 실리콘의 공여체 불순물 함량, 수용체 불순물 함량을 테스트하기 전에,
탄소 함량, 전도도 유형, 저항률, 소수 캐리어 수명 및 산소 함량
다결정 실리콘은 다음 방법에 따라 단결정 시편으로 제작되어야 합니다.
GB/T 4059, GB/T 4060 또는 GB/T 29057.
6.2 다결정의 공여체 불순물 함량 및 수용체 불순물 함량의 검사
실리콘은 GB/T 24574 또는 GB/T 24581의 규정에 따라 수행되어야 합니다.
중재 검사는 GB/T 24581의 규정에 따라 실시됩니다.
6.3 다결정 실리콘의 탄소 함량 검사는 다음과 같이 수행되어야 합니다.
GB/T 1558 또는 GB/T 35306의 규정에 따라 중재 검사를 실시해야 합니다.
GB/T 35306의 규정에 따라 발행됩니다.
6.4 다결정실리콘의 기저금속불순물 함량의 검사는 다음과 같다.
GB/T 37049의 규정에 따라 수행됩니다.
6.5 다결정실리콘 표면 금속불순물 함량에 대한 검사를 실시하여야 한다.
GB/T 24582의 규정에 따라.
6.6 다결정 실리콘의 전도도 유형의 검사는 다음과 같이 수행되어야 합니다.
GB/T 1550의 규정에 따라.
6.7 다결정 실리콘의 저항율 검사는 다음에 따라 수행되어야 합니다.
GB/T 1551의 규정에 따라.
6.8 다결정 실리콘의 소수 캐리어 수명 검사는 다음과 같이 수행되어야 합니다.
GB/T 1553의 규정에 따라.
6.9 다결정 실리콘의 산소 함량 검사는 다음과 같이 수행되어야 합니다.
GB/T 1557 또는 GB/T 35306의 규정에 따라 중재 검사는 다음과 같습니다.
GB/T 35306의 규정에 따라 수행됩니다.
6.10 벌크 다결정 실리콘의 크기 분포 범위는 스크리닝을 통해 테스트됩니다.
막대형 다결정 실리콘의 치수 및 편차는 측정을 통해 측정됩니다.
정확도가 높은 도구.
6.11 다결정 실리콘 구조(산화 중간층, 온도)의 검사
중간층)은 GB/T 4061의 규정에 따라 수행되어야 합니다.
6.12 다결정 실리콘의 단면 모서리의 입자 크기는 다음과 같이 측정됩니다.
해당 정확도의 측정도구 및 기타 표면 품질은 시각적으로 검사해야 합니다.
표면 금속 불순물 함량의 경우 해당 항목에 대해 이중 샘플링을 실시해야 합니다.
재검사에 대한 불합격 항목입니다. 재검사 결과가 여전히 불합격인 경우 배치
해당 제품은 부적격으로 간주됩니다.
7.5.2 전도도 유형, 저항률, 소수 캐리어 수명, 산소 함량의 판단
크기 및 허용오차, 구조 및 표면 품질 검사 결과는 다음을 통해 결정됩니다.
공급자와 구매자 간의 협상.
8 표시, 포장, 운송, 보관 및
첨부 문서
8.1 마킹
제품 포장 상자 외부에는 "손잡이"라는 단어나 기호가 표시되어야 합니다.
주의해서" 및 "방습"을 표시하고 다음을 나타냅니다.
a) 제품명 및 명칭
b) 제품 수량 및 순중량
c) 공급업체 이름.
8.2 패키징
제품은 깨끗한 폴리에틸렌 포장 백에 포장되어 밀봉됩니다. 포장 시,
폴리에틸렌 포장백은 외부충격을 방지하기 위하여 파손되지 않도록 보호하여야 한다.
제품의 오염을 방지하기 위해 포장하기 전에 적절한 보호 조치를 취해야 합니다.
티...
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영국/태그 12963-2022
영국
국가 표준
중화인민공화국
ICS 29.045
CCS H 82
GB/T 12963-2014 교체
전자 등급 다결정 실리콘
발행일: 2022년 12월 30일
구현일: 2023년 7월 1일
발행처: 국가시장규제총국
중화인민공화국 표준화 관리국.
목차
서문 ... 3
1 범위 ... 5
2 규범적 참조 ... 5
3 용어 및 정의 ... 6
4 명칭 및 카테고리 ... 6
5 기술 요구 사항 ... 6
6 테스트 방법 ... 8
7 검사 규칙 ... 9
8 표시, 포장, 운송, 보관 및 첨부 문서 ... 10
9 주문서 내용 ... 11
전자 등급 다결정 실리콘
1 범위
본 문서는 명칭 및 범주, 기술적 요구 사항, 시험 방법을 규정합니다.
검사 규칙, 표시, 포장, 운송, 보관, 첨부 문서 및
주문서의 전자급 다결정 실리콘 함량입니다.
본 문서는 전자 등급 다결정 실리콘(이하 "다결정 실리콘"이라 함)에 적용됩니다.
"다결정 실리콘")은 염화실란과 실란으로부터 생성됩니다.
2 규범적 참조
다음 문서의 규정은 본 문서의 필수 규정이 됩니다.
이 문서의 참조를 통해. 날짜가 있는 문서의 경우 날짜가 있는 버전만
표시된 내용은 이 문서에 적용됩니다. 날짜가 없는 문서의 경우 최신 버전만 해당됩니다.
(모든 개정 내용을 포함하여) 이 문서에 적용됩니다.
GB/T 1550 외부 반도체 재료의 전도도 유형에 대한 테스트 방법
GB/T 1551 단결정 실리콘의 저항률 측정을 위한 시험 방법 - 인라인 4-
포인트 프로브 및 직류 2포인트 프로브 방법
GB/T 1553 벌크 실리콘 및 게르마늄의 소수 캐리어 수명에 대한 테스트 방법 -
광전도도 붕괴법
GB/T 1557 적외선을 이용한 실리콘의 간극산소 함량 측정 시험방법
흡수
GB/T 1558 적외선 흡수에 의한 실리콘의 치환탄소 함량 시험 방법
GB/T 4059 다결정 실리콘 - 시험 방법 - 인의 영역 용융
통제된 분위기 하에서
GB/T 4060 다결정 실리콘 - 시험 방법 - 붕소에 대한 진공대 용융
GB/T 4061 다결정 실리콘 - 시험 방법 - 샌드위치의 평가
화학부식에 의한 횡단면
GB/T 14264 반도체 재료의 용어
GB/T 14844 반도체 재료의 명칭
GB/T 24574 III- 단결정 실리콘의 광발광 분석을 위한 시험 방법
Ⅴ 불순물
GB/T 24581 단결정 실리콘의 Ⅲ 및 Ⅴ 불순물 함량에 대한 시험 방법 - 낮음
온도 FT-IR 분석 방법
GB/T 24582 다결정 금속의 표면 금속 오염 측정을 위한 시험 방법
산 추출에 의한 실리콘-유도 결합 플라스마 질량 분석법
GB/T 29057 플로트 존 결정에 의한 다결정 실리콘 막대의 평가를 위한 연습
성장과 분광학
GB/T 35306 단결정 실리콘의 탄소 및 산소 함량에 대한 시험 방법―낮음
온도 푸리에 변환 적외선 분광법
GB/T 37049 전자급 폴리실리콘의 금속불순물 함량에 대한 시험방법
- 유도결합플라스마 질량분석법
3 용어 및 정의
본 문서의 목적상 GB/T 14264에 명시된 용어와 정의가 적용됩니다.
4. 명칭 및 카테고리
4.1 다결정 실리콘의 명칭 표시는 다음 규정을 준수하여야 합니다.
GB/T 14844(영국)
4.2 다결정실리콘은 벌크형 다결정실리콘과 막대형 다결정실리콘으로 구분된다.
다결정 실리콘은 형태에 따라 구분되며, 전도도에 따라 n형과 p형으로 구분된다.
유형이며, 기술적 지표의 차이에 따라 4가지 등급으로 구분됩니다.
5 기술적 요구 사항
5.1 기술 지표
다결정 실리콘의 등급 및 관련 기술 지표는 다음을 준수해야 합니다.
표 1의 규정.
6가지 테스트 방법
6.1 다결정 실리콘의 공여체 불순물 함량, 수용체 불순물 함량을 테스트하기 전에,
탄소 함량, 전도도 유형, 저항률, 소수 캐리어 수명 및 산소 함량
다결정 실리콘은 다음 방법에 따라 단결정 시편으로 제작되어야 합니다.
GB/T 4059, GB/T 4060 또는 GB/T 29057.
6.2 다결정의 공여체 불순물 함량 및 수용체 불순물 함량의 검사
실리콘은 GB/T 24574 또는 GB/T 24581의 규정에 따라 수행되어야 합니다.
중재 검사는 GB/T 24581의 규정에 따라 실시됩니다.
6.3 다결정 실리콘의 탄소 함량 검사는 다음과 같이 수행되어야 합니다.
GB/T 1558 또는 GB/T 35306의 규정에 따라 중재 검사를 실시해야 합니다.
GB/T 35306의 규정에 따라 발행됩니다.
6.4 다결정실리콘의 기저금속불순물 함량의 검사는 다음과 같다.
GB/T 37049의 규정에 따라 수행됩니다.
6.5 다결정실리콘 표면 금속불순물 함량에 대한 검사를 실시하여야 한다.
GB/T 24582의 규정에 따라.
6.6 다결정 실리콘의 전도도 유형의 검사는 다음과 같이 수행되어야 합니다.
GB/T 1550의 규정에 따라.
6.7 다결정 실리콘의 저항율 검사는 다음에 따라 수행되어야 합니다.
GB/T 1551의 규정에 따라.
6.8 다결정 실리콘의 소수 캐리어 수명 검사는 다음과 같이 수행되어야 합니다.
GB/T 1553의 규정에 따라.
6.9 다결정 실리콘의 산소 함량 검사는 다음과 같이 수행되어야 합니다.
GB/T 1557 또는 GB/T 35306의 규정에 따라 중재 검사는 다음과 같습니다.
GB/T 35306의 규정에 따라 수행됩니다.
6.10 벌크 다결정 실리콘의 크기 분포 범위는 스크리닝을 통해 테스트됩니다.
막대형 다결정 실리콘의 치수 및 편차는 측정을 통해 측정됩니다.
정확도가 높은 도구.
6.11 다결정 실리콘 구조(산화 중간층, 온도)의 검사
중간층)은 GB/T 4061의 규정에 따라 수행되어야 합니다.
6.12 다결정 실리콘의 단면 모서리의 입자 크기는 다음과 같이 측정됩니다.
해당 정확도의 측정도구 및 기타 표면 품질은 시각적으로 검사해야 합니다.
표면 금속 불순물 함량의 경우 해당 항목에 대해 이중 샘플링을 실시해야 합니다.
재검사에 대한 불합격 항목입니다. 재검사 결과가 여전히 불합격인 경우 배치
해당 제품은 부적격으로 간주됩니다.
7.5.2 전도도 유형, 저항률, 소수 캐리어 수명, 산소 함량의 판단
크기 및 허용오차, 구조 및 표면 품질 검사 결과는 다음을 통해 결정됩니다.
공급자와 구매자 간의 협상.
8 표시, 포장, 운송, 보관 및
첨부 문서
8.1 마킹
제품 포장 상자 외부에는 "손잡이"라는 단어나 기호가 표시되어야 합니다.
주의해서" 및 "방습"을 표시하고 다음을 나타냅니다.
a) 제품명 및 명칭
b) 제품 수량 및 순중량
c) 공급업체 이름.
8.2 패키징
제품은 깨끗한 폴리에틸렌 포장 백에 포장되어 밀봉됩니다. 포장 시,
폴리에틸렌 포장백은 외부충격을 방지하기 위하여 파손되지 않도록 보호하여야 한다.
제품의 오염을 방지하기 위해 포장하기 전에 적절한 보호 조치를 취해야 합니다.
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